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平衡气

组分名称及浓度范围

充装压力

He

N2 8~55%、CO2 2~16%

10Mpa(25℃ )

He

H2 0.25~0.45%、CO 2~6%、CO2 2~16%、N2 8~25%

He

CO 2~6%、CO2 2~16%、N2 8~25%

Ne

He、Ar、F2 浓度范围依具体条件而定

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