气体名称

纯 度（%）

高纯氮气 (N2)

99.999～99.9998

高纯氩气 (Ar)

99.99～99.9998

高纯氢气 (H2)

99.99～99.9999

高纯氧气 (O2)

99.99～99.995

一氧化碳 (CO)

99.95～99.99

二氧化碳 (CO2)

99.99～99.995

二氧化硫 (SO2)

99 ～99.97

稀有气体系列

氦 (He)

99.99、99.995、99.999

氪（Kr)

99.995～99.999

氖 (Ne)

99.995～99.999

氙 (Xe)

99.995～99.999

一氧化氮 (NO)

99.9

二氧化氮 (NO2)

99.0

氧化亚氮 (N2O)

99.9

六氟化硫 (SF6)

99.99

硫化氢 (H2S)

99.5～99.999

高纯氨 (NH3)

99.999

氯气（Cl2）

99.995