产品名称

执行标准

纯度（V/V）

杂质含量（V/V）

氧化亚氮 (N2O)
Nitrous oxide

GB/T 14600-93

≥99.9974%

NH3≤5ppm、O2≤2ppm、N2≤10ppm、CO≤1ppm、CO2≤2ppm、烃C1-C5≤1ppm、NO≤1ppm、
NO2≤1ppm、H2O≤3ppm

高纯氨 (NH3)
High purity ammonia

GB/T 14601-93

≥99.999%

O2＜2ppm、N2＜5ppm、CO≤1ppm、
烃C1-C3＜1ppm、H2O＜5ppm 、总杂质≤10ppm

氯化氢 (HCl)
Hydrogen chloride

GB/T 14602-93

≥99.9944%

O2+Ar≤5ppm、N2≤16ppm、CO2≤10ppm、
烃类≤5ppm、H2≤10ppm、H2O≤10ppm

三氟化硼 (BF3)
Boron trifluoride

GB/T 14603-93

≥99.6%

Air≤4000ppm、SO2≤20ppm、SiF4≤300ppm、
硫酸盐含量≤10ppm、

≥99.95%

Air≤100ppm、SO2≤10ppm、SiF4≤300ppm、
硫酸盐含量≤8ppm、

≥99.995%

Air≤20ppm、SO2≤10ppm、SiF4≤20ppm、
硫酸盐含量≤8ppm、

硅烷（SiH4）
Silane

GB/T 15909-1995

≥99.0%

CO+CO2≤5ppm、O2≤5ppm、N2≤40ppm、
烃C1-C3≤40ppm、氯化物总量≤100ppm、
H2≤9000ppm、H2O≤3ppm

磷化氢（PH3）
Phosphine

GB/T 14851

电子级

AsH3≤10ppm、CO2≤10ppm、H4≤100ppm、、O2≤5ppm、N2≤50ppm、总烃≤4ppm、H2O≤2ppm

发光二极管级

AsH3≤2ppm、CO2≤10ppm、H4≤100ppm、、O2≤4ppm、N2≤50ppm、总烃≤4ppm、H2O≤2ppm

氢 (H2)
Hydrogen

GB/T 16942-1997

≥99.9995%

O2＜2ppm、N2＜0.5ppm、CO≤0.5ppm、
CO2≤0.5ppm、总烃＜0.5ppm、H2O＜0.5ppm

氦 (He)
Helium

GB/T 16943-1997

≥99.9995%

CO+CO2≤1ppm、O2≤0.5ppm、N2≤2ppm、
总烃≤0.5ppm、H2O≤0.5ppm

氮 (N2)
Nitrogen

GB/T 16944-1997

≥99.996%

O2≤0.5ppm、H2≤1ppm、CO≤0.5ppm、
CO2≤0.5ppm、总烃≤0.5ppm、H2O≤0.5ppm

氩 (Ar)
Argon

GB/T 16945-1997

≥99.9992%

CO+CO2≤0.5ppm、O2≤0.5ppm、N2≤5ppm、
H2≤1ppm、总烃≤0.5ppm、H2O≤0.5ppm