平衡气

组分名称及浓度范围

CH3Br
CH2Br2

CH3Cl
CH2Cl2

纯 Br

Kr

N2

Xe

Ar

Ar

0.01-1.0

0.01-0.6

-

10-40

12-20

8-10

-

Ar

-

-

0.3-0.8

-

-

-

-

Ar

0.4-0.7

-

-

-

-

-

-

Kr

0.1-0.5

0.1-0.5

-

-

-

-

-

Kr

0.1-0.5

0.1-0.5

-

-

-

-

20-50

Ar

-

-

-

-

14-50

-

-

充装压力

10.0MPa(25℃)